項目名稱：等離子 車間臭氧凈化

項目背景：由于離子片老化過程中有臭氧逸散，氣體收集通風口也有臭氧排出。

處理方案：新風升級（防止臭氧二次流入）+ 移動式臭氧凈化器（點對點，持續降低空間性臭氧）

處理標準：根據《GBT 18202-2000 室內空氣中臭氧衛生標準》規定1h室內平均最高允許濃度為0.1mg/m3。根據《GB 3095-2012 環境空氣質量標準》規定日最大8小時平均濃度限值一級標準為 0.1mg/m3，二級標準為0.16mg/m3。《 GBZ2.1-2019 工作場所有害因素職業接觸限值》規定在一個工作日內、任何時間、工作地點的臭氧的最高允許濃度為0.3mg/m3。

檢測儀器：美國2B 106-L 臭氧分析儀

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處理前，對整個車間臭氧濃度、廠區大氣臭氧濃度、車間排放管道臭氧濃度、老化柜內部臭氧濃度進行檢測。

測試環境	測試結果 ug/m3
廠房外大氣環境	80-100
關閉（臭氧）抽風機，地面	500
老化柜內部	>800
老化柜抽風主管道附近	300
老化柜抽風主管道內部	780-800

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處理中，升級原有新風系統，增加臭氧過濾模塊，防止臭氧氣體泄漏至廠區及臭氧氣體回流廠房內部。臭氧產生位置增設臭氧凈化設備，持續凈化臭氧。

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處理后，數據檢測。出口臭氧凈化效率＞96%，臭氧味消失。移動臭氧凈化器置于臭氧濃度為400 ug/m3左右的區域，開啟凈化器，檢測臭氧凈化器出風口臭氧濃度<10 ug/m3。

測試環境	測試結果 ug/m3
老化柜抽風主管道出風口（凈化后）	30-40
臭氧凈化器出口	5-10

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